Euv Photoresist
gtocore:euv_photoresist, from GTOCore
10 recipes use this.
- UXV
- Duration
- 6 s
- Total
- 15,099,494,400 EU
- Usage
- 125,829,120 EU/t
Conditions and notes- Requires Cleanroom
- UEV
- Duration
- 6 s
- Total
- 943,718,400 EU
- Usage
- 7,864,320 EU/t
Conditions and notes- Requires Cleanroom
- UEV
- Duration
- 120 s
- Total
- 18,874,368,000 EU
- Usage
- 7,864,320 EU/t
Conditions and notes- Requires Research
- UHV
- Duration
- 90 s
- Total
- 3,538,944,000 EU
- Usage
- 1,966,080 EU/t
Conditions and notes- Requires Research
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1mB
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B
1B